Klantachtergrond
Een fabless halfgeleiderbedrijf dat zijn productie van geavanceerde chips uitbesteedt. Hun bestaande cleanroom kon niet voldoen aan de strenge eisen voor trillingen en luchtzuiverheid voor 193nm immersielithografie, wat leidde tot opbrengstverlies.
Behoeften & Uitdagingen
· ISO Klasse 5 (Klasse 100) aan het waferoppervlak.
· Strakke temperatuurregeling: 22 ± 0,1°C in de fotolithografiebaai.
· Korte stilstand: Slechts 1 maand beschikbaar om de bestaande baai te retrofitten.
Oplossing
· Mini‑milieudesign: de stepper geïsoleerd met fan‑filterunits (FFU) plus chemische filters voor AMC. ISO 4 bereikt binnen de gereedschapshulling.
· Actieve trillingsisolatie: Betonnen inertieblok + pneumatische isolatoren om te voldoen aan de VC‑D criteria.
· Hoge‑nauwkeurigheid HVAC: Dubbele gekoelde waterlussen met herverwarming, plus variabele luchtvolume (VAV) terminals. Temperatuuruniformiteit gemeten op ±0,08°C.
· Prefabricagepanelen: Off‑site geproduceerde roestvrijstalen panelen met cam‑lock verbindingen. Geïnstalleerd tijdens een geplande onderhoudsonderbreking – voltooid in 25 dagen.
![]()
![]()
Klantfeedback
“Yaning begreep onze gereedschapsvereisten beter dan andere cleanroomaannemers.”
— Facility Manager, Semiconductor Client
Samenvatting
Yaning is gespecialiseerd in cleanroomtechniek. We streven ernaar schone productieomgevingen te creëren die de productie-efficiëntie direct verbeteren. Onze modulaire oplossingen zijn een ideale keuze voor schone productiezones binnen de productiesector.